Es un instrumento parecido a un microscopio electrónico que utiliza un haz de electrones en lugar de la luz visible para el estudio de la superficie de una muestra (MEG). El haz de electrones se mueve de un punto a otro sobre la superficie de la muestra, la imagen producida es de menos aumento que la que se consigue con el microscopio electrónico, pero parece tridimensional y natural.